专利名称：一种微型定向超声换能器及其加工工艺专利类型：发明专利
发明人：徐利梅,李学生,秦开宇,谢晓梅,其他发明人请求不公
开姓名
申请号：CN201710322352.2申请日：20170509公开号：CN106960903A公开日：20170718
摘要：本发明公开一种微型定向超声换能器，包括压电材料层，压电材料层顶面设置上电极，压电材料层底面设置下电极，上电极顶面覆盖绝缘层，下电极底面覆盖二氧化硅层，下电极底面通过硅衬底支撑；本发明还公开了该种微型定向超声换能器的加工工艺。本发明具有体积小，易集成，高效能的优点，适于在微型设备上使用；还可采用MEMS技术加工。
申请人：成都泰声科技有限公司
地址：610000 四川省成都市高新区(西区)天目路77号12栋2单元4层425号
国籍：CN
代理机构：成都高远知识产权代理事务所(普通合伙)
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